| 发明名称 |
MAGNETRON DRIVING POWER SOURCE AND PLASMA GENERATING DEVICE HAVING IT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08167384(A) |
申请公布日期 |
1996.06.25 |
| 申请号 |
JP19940307409 |
申请日期 |
1994.12.12 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
KIMURA MINORU;FURUYA NOBUAKI |
| 分类号 |
H05H1/46;H01J23/34;(IPC1-7):H01J23/34 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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