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发明名称 INTEGRATED CIRCUIT DEVICE WITH TEST CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH08166427(A) 申请公布日期 1996.06.25
申请号 JP19940312114 申请日期 1994.12.15
申请人 KANEBO LTD;MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 NAGASAWA YOSHIAKI;HAJIYAMA FUMITAKE;SUGA YASUHIRO
分类号 G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
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