发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08167601(A) 申请公布日期 1996.06.25
申请号 JP19940332603 申请日期 1994.12.13
申请人 SONY CORP 发明人 MUROYAMA MASAKAZU
分类号 H01L21/316;H01L21/31;H01L21/314;H01L21/471;H01L21/4763;(IPC1-7):H01L21/314 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
地址