发明名称 |
ELECTRICAL-INSULATING SEAL STRUCTURE AND METHOD OF USING THESAME IN HIGH-VACUUM PVD APPARATUS |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH08165567(A) |
申请公布日期 |
1996.06.25 |
申请号 |
JP19950165885 |
申请日期 |
1995.06.30 |
申请人 |
APPLIED MATERIALS INC |
发明人 |
RICHIYAADO II DEMAREI;MANIYUERU JIEI HERERA |
分类号 |
C23C14/34;H01L21/02;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/34 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|