| 发明名称 |
PROJECTING OPTICAL SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08166540(A) |
申请公布日期 |
1996.06.25 |
| 申请号 |
JP19940311050 |
申请日期 |
1994.12.14 |
| 申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
MATSUZAWA HITOSHI;ISHII MIKIHIKO;TANAKA KAZUMASA |
| 分类号 |
H01L21/027;G02B9/62;G02B13/14;G02B13/24;G03F7/20;(IPC1-7):G02B13/24 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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