| 发明名称 |
FORMATION OF ALUMINUM WIRING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08167649(A) |
申请公布日期 |
1996.06.25 |
| 申请号 |
JP19940307560 |
申请日期 |
1994.12.12 |
| 申请人 |
OKI ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
TANI KOICHI;MATSUHASHI HIDEAKI |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/203;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/306;H01L21/320 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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