发明名称 SEMICONDUCTOR FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08167600(A) 申请公布日期 1996.06.25
申请号 JP19940332621 申请日期 1994.12.13
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 OKAYAMA TOMOHIKO
分类号 C23C16/44;C23C16/455;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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