| 发明名称 |
POSITION DETECTING DEVICE AND POSITION ALIGNING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08167571(A) |
申请公布日期 |
1996.06.25 |
| 申请号 |
JP19940332972 |
申请日期 |
1994.12.14 |
| 申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
NARABE TAKESHI;NARA KEI;YANAGIHARA MASAMITSU |
| 分类号 |
G01B11/27;G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
G01B11/27 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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