发明名称 CRYOSTAT AND ITS USAGE METHOD
摘要
申请公布号 JPH08166331(A) 申请公布日期 1996.06.25
申请号 JP19940311411 申请日期 1994.12.15
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 YAMAMOTO TOSHIRO
分类号 G01N1/28;F25D3/10;G01N21/01;H01L39/04;(IPC1-7):G01N1/28 主分类号 G01N1/28
代理机构 代理人
主权项
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