发明名称 MANUFACTURE OF VERTICAL MOS SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08167619(A) 申请公布日期 1996.06.25
申请号 JP19940310811 申请日期 1994.12.14
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 NATSUME TADASHI;KOIKE TOSHIMARO
分类号 H01L27/08;H01L21/322;H01L21/336;H01L29/06;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/336 主分类号 H01L27/08
代理机构 代理人
主权项
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