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发明名称 DEVICE AND METHOD FOR WASHING PLATE MATERIAL HAVING MANY FINE HOLES AND DEVICE AND METHOD FOR WASHING CHUCKING PLATE OF VACUUM CHUCK
摘要
申请公布号 JPH08164370(A) 申请公布日期 1996.06.25
申请号 JP19940309094 申请日期 1994.12.13
申请人 CKD CORP 发明人 UCHIDA KOJI
分类号 B08B3/04;B65G49/07;H01L21/304;H05K13/00;(IPC1-7):B08B3/04 主分类号 B08B3/04
代理机构 代理人
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