| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND ITS MANUFACTURE AND MANUFACTURING APPARATUS USED THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08162534(A) |
申请公布日期 |
1996.06.21 |
| 申请号 |
JP19940304677 |
申请日期 |
1994.12.08 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SAITO TATSUYUKI;TAMARU TAKESHI;AOKI HIDEO;OWADA NOBUO;FUKUDA NAOKI |
| 分类号 |
C23C16/14;C23C16/54;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768 |
主分类号 |
C23C16/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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