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发明名称 METHOD OF ARRANGING FINE METAL BALL AND DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08167610(A) 申请公布日期 1996.06.25
申请号 JP19940331828 申请日期 1994.12.09
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 OHIGATA NAOHARU
分类号 H01L21/60;B23K3/06;H01L21/321;(IPC1-7):H01L21/321 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
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