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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08162532(A) 申请公布日期 1996.06.21
申请号 JP19940300729 申请日期 1994.12.05
申请人 SONY CORP 发明人 KAJIYAMA HIDETO
分类号 H01L21/28;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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