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发明名称 FILM FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH08162448(A) 申请公布日期 1996.06.21
申请号 JP19940302428 申请日期 1994.12.06
申请人 HANDOTAI PROCESS KENKYUSHO:KK 发明人 IWAMATSU SEIICHI
分类号 C23C14/35;H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
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