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发明名称 DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH08162441(A) 申请公布日期 1996.06.21
申请号 JP19940302516 申请日期 1994.12.06
申请人 CANON SALES CO INC;CANON INC 发明人 OKU TAIZO;AOKI JUNICHI
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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