| 发明名称 |
THIN FILM MANUFACTURING METHOD FOR POLISHING AWAY DEPOSIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08162452(A) |
申请公布日期 |
1996.06.21 |
| 申请号 |
JP19940297531 |
申请日期 |
1994.11.30 |
| 申请人 |
ULVAC JAPAN LTD |
发明人 |
NAGANO KENZO;NAKAMURA KYUZO;HIGUCHI YASUSHI;KOMATSU TAKASHI |
| 分类号 |
C23C16/04;C23C16/56;H01L21/285;H01L21/304;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320 |
主分类号 |
C23C16/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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