| 发明名称 |
ELECTRONIC ELEMENT EVALUATING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08160109(A) |
申请公布日期 |
1996.06.21 |
| 申请号 |
JP19940299576 |
申请日期 |
1994.12.02 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
HASEGAWA TAKESHI;TOMIMATSU SATOSHI;HOSOKI SHIGEYUKI;DOI TAKAHISA;KONO MAKIKO;MITSUI YASUHIRO;ARAKAWA FUMIKO;AOKI KAZUO |
| 分类号 |
G01B7/34;G01Q10/02;G01Q60/04;G01Q60/10;G01Q60/24;G01R31/302;H01J37/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/302 |
主分类号 |
G01B7/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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