发明名称 Menetelmä puolijohdelaitteen valmistamiseksi
摘要
申请公布号 FI956099(A) 申请公布日期 1996.06.21
申请号 FI19950006099 申请日期 1995.12.19
申请人 MURATA MANUFACTURING CO., LTD 发明人 YOSHIDA, KAZUHIRO
分类号 H01L29/812;H01L21/027;H01L21/285;H01L21/338;(IPC1-7):H01L 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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