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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH08162426(A) 申请公布日期 1996.06.21
申请号 JP19940299354 申请日期 1994.12.02
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SASAKI TOSHIYUKI
分类号 H01L21/28;H01L21/02;H01L21/336;H01L21/768;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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