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发明名称
SENSOR FOR MECHANICAL QUANTITY
摘要
申请公布号
JPH08162645(A)
申请公布日期
1996.06.21
申请号
JP19940323876
申请日期
1994.11.30
申请人
NIPPON SEIKI CO LTD
发明人
KOMAGATA NOBUYUKI
分类号
G01L1/18;G01L9/00;G01L9/04;G01P15/12;H01L29/84;(IPC1-7):H01L29/84
主分类号
G01L1/18
代理机构
代理人
主权项
地址
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