发明名称 SENSOR FOR MECHANICAL QUANTITY
摘要
申请公布号 JPH08162645(A) 申请公布日期 1996.06.21
申请号 JP19940323876 申请日期 1994.11.30
申请人 NIPPON SEIKI CO LTD 发明人 KOMAGATA NOBUYUKI
分类号 G01L1/18;G01L9/00;G01L9/04;G01P15/12;H01L29/84;(IPC1-7):H01L29/84 主分类号 G01L1/18
代理机构 代理人
主权项
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