| 发明名称 |
PATTERN IRREGULARITY INSPECTING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08159984(A) |
申请公布日期 |
1996.06.21 |
| 申请号 |
JP19940300059 |
申请日期 |
1994.12.05 |
| 申请人 |
TOPPAN PRINTING CO LTD |
发明人 |
SAITO MASAO;MIHASHI MITSUSACHI;KOJIMA HIROSHI;SHIBAYAMA TAKAHIRO |
| 分类号 |
G01B11/24;G01M11/00;G01N21/88;(IPC1-7):G01N21/88 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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