发明名称 CRYSTAL GROWTH
摘要
申请公布号 JPH08162481(A) 申请公布日期 1996.06.21
申请号 JP19940321176 申请日期 1994.12.01
申请人 NEC CORP 发明人 KURODA NAOTAKA
分类号 C30B23/08;C30B29/48;H01L21/20;H01L21/203;H01L21/363;H01S5/00;(IPC1-7):H01L21/363;H01S3/18 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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