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发明名称 VAPOR DRYING METHOD OF SEMICONDUCTOR WAFER OR THE LIKE AND ITS VAPOR DRYING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH08162434(A) 申请公布日期 1996.06.21
申请号 JP19940299793 申请日期 1994.12.02
申请人 MESAKI TAMOTSU;SUGAI:KK 发明人 MESAKI TAMOTSU
分类号 B08B3/08;F26B5/04;F26B19/00;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B3/08
代理机构 代理人
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