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发明名称 PATTERN DETECTION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08159726(A) 申请公布日期 1996.06.21
申请号 JP19940323929 申请日期 1994.12.01
申请人 NIKON CORP 发明人 KATO KINYA
分类号 G01B11/24;G01B11/245;G03F7/20;(IPC1-7):G01B11/24 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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