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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE, AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH08162524(A) 申请公布日期 1996.06.21
申请号 JP19940297376 申请日期 1994.11.30
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TSUBOI OSAMU
分类号 H01L21/762;H01L21/76;H01L21/8238;H01L27/08;H01L27/092;H01L27/12;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/762;H01L21/823 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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