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发明名称 FILM FORMING METHOD FOR WORKPIECE WHOSE SURFACE IS TO BE TREATED, BY USING BELT DRIVE NORMAL PRESSURE CVD EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH08162416(A) 申请公布日期 1996.06.21
申请号 JP19940300992 申请日期 1994.12.05
申请人 SONY CORP 发明人 NODA SADAYUKI
分类号 C23C16/44;C23C16/455;C23C16/54;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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