发明名称 |
SCREW FEEDING MECHANISM AND RECTILINEARLY MOVING STAND FOR ULTRA-HIGH-VACUUM HAVING ITS MECHANISM |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH08159231(A) |
申请公布日期 |
1996.06.21 |
申请号 |
JP19940301870 |
申请日期 |
1994.12.06 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
HARADA KUNIO;MORIYAMA SHIGEO;ITO MASAAKI;KANETOMO MASABUMI;MATSUBARA TOSHIYUKI |
分类号 |
F16H25/20;F16H25/22;F16H25/24;(IPC1-7):F16H25/20 |
主分类号 |
F16H25/20 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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