发明名称 SCREW FEEDING MECHANISM AND RECTILINEARLY MOVING STAND FOR ULTRA-HIGH-VACUUM HAVING ITS MECHANISM
摘要
申请公布号 JPH08159231(A) 申请公布日期 1996.06.21
申请号 JP19940301870 申请日期 1994.12.06
申请人 HITACHI LTD 发明人 HARADA KUNIO;MORIYAMA SHIGEO;ITO MASAAKI;KANETOMO MASABUMI;MATSUBARA TOSHIYUKI
分类号 F16H25/20;F16H25/22;F16H25/24;(IPC1-7):F16H25/20 主分类号 F16H25/20
代理机构 代理人
主权项
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