| 发明名称 |
Katodischer Vakuumbogenverdampfer |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE29602332(U1) |
申请公布日期 |
1996.06.20 |
| 申请号 |
DE19962002332U |
申请日期 |
1996.02.10 |
| 申请人 |
VTD VAKUUMTECHNIK DRESDEN GMBH, 01257 DRESDEN, DE |
发明人 |
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| 分类号 |
C23C14/32;H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/34;C23C14/22 |
主分类号 |
C23C14/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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