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发明名称 Halbleiterherstellungsvorrichtung
摘要
申请公布号 DE68925374(T2) 申请公布日期 1996.06.20
申请号 DE19896025374T 申请日期 1989.03.31
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 MIYASHITA, NAOTO C/O PATENT DIVISION, MINATO-KU TOKYO 105, JP;TAKAHASHI, KOICHI C/O PATENT DIVISION, MINATO-KU TOKYO 105, JP;KINOSHITA, HIROSHI C/O PATENT DIVISION, MINATO-KU TOKYO 105, JP
分类号 H01L21/31;H01L21/00;H01L21/318;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
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