PROCESS OF MANUFACTURE OF LAYERS OF AMORPHOUS GERMANIUM,申请号RU19930027747-传众专利搜索

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发明名称	PROCESS OF MANUFACTURE OF LAYERS OF AMORPHOUS GERMANIUM
摘要
申请公布号	RU2062524(C1)	申请公布日期	1996.06.20
申请号	RU19930027747	申请日期	1993.05.19
申请人	INSTITUT STRUKTURNOJ MAKROKINETIKI RAN	发明人	AJVAZYAN RAFIK G;AZATYAN VILEN V;MERZHANOV ALEKSANDR G
分类号	H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
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