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发明名称
Verfahren und Anlage zur Versorgung wenigstens eines Verbrauchspunktes mit flüssigen hochreinen Chemikalien
摘要
申请公布号
DE59302597(D1)
申请公布日期
1996.06.20
申请号
DE19935002597
申请日期
1993.10.06
申请人
UHDE GMBH, 44141 DORTMUND, DE
发明人
SCHNEIDER, VOLKER, DIPL.-ING., D-58710 MENDEN, DE;GAIL, LOTHAR, DR. DIPL.-ING., D-65189 WIESBADEN, DE;EBERHARD JOST, EBERHARD JOST, 65795 HATTERSHEIM, DE
分类号
B01D35/00;B01D37/00;B01D37/04;F17D3/16;H05K3/06;(IPC1-7):B01D37/00
主分类号
B01D35/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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