发明名称 SILICON OXYCARBONITRIDE BY PYROLYSIS OF POLYCYCLOSILOXANES IN AMMONIA
摘要
申请公布号 EP0642474(B1) 申请公布日期 1996.06.19
申请号 EP19930901115 申请日期 1992.12.22
申请人 ALLIEDSIGNAL INC. 发明人 LEUNG, ROGER, YU-KWAN;NEBO, JON, FREDRICK;GONCZY, STEPHEN, THOMAS
分类号 C03C14/00;C04B35/571;C03C10/00;C04B35/56;C04B35/58;C04B35/589;C04B35/80;C08G77/48;C08G77/50;(IPC1-7):C03C14/00 主分类号 C03C14/00
代理机构 代理人
主权项
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