发明名称
摘要
申请公布号 JP2507887(B2) 申请公布日期 1996.06.19
申请号 JP19880252164 申请日期 1988.10.07
申请人 TOKYO KOGYO DAIGAKUCHO 发明人 SUEMATSU YASUHARU;ASADA MASAHIRO;CHAKI YASUYUKI
分类号 H01J23/00;H01L29/66;H01L49/00;(IPC1-7):H01L49/00 主分类号 H01J23/00
代理机构 代理人
主权项
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