发明名称 METHOD FOR GROWING ALUMINUM COMPOUND SEMICONDUCTOR CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH08157299(A) 申请公布日期 1996.06.18
申请号 JP19940299615 申请日期 1994.12.02
申请人 HIKARI GIJUTSU KENKYU KAIHATSU KK 发明人 YOSHIDA KIYOTERU;SASAKI MASAHIRO
分类号 C30B23/08;C30B29/40;H01L21/205;(IPC1-7):C30B29/40 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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