发明名称 FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH08157295(A) 申请公布日期 1996.06.18
申请号 JP19940298703 申请日期 1994.12.01
申请人 CRYSTAL DEVICE:KK 发明人 SHINDO AKIHIRO;UEYAMA SUMIYOSHI;YOSHIMIZU TOSHIKAZU;HIKAWA TETSUSHI
分类号 C30B25/02;B01J19/08;C23C16/48;C23C16/511;C30B29/06;H01L21/205;(IPC1-7):C30B25/02 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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