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经营范围
发明名称
FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号
JPH08157295(A)
申请公布日期
1996.06.18
申请号
JP19940298703
申请日期
1994.12.01
申请人
CRYSTAL DEVICE:KK
发明人
SHINDO AKIHIRO;UEYAMA SUMIYOSHI;YOSHIMIZU TOSHIKAZU;HIKAWA TETSUSHI
分类号
C30B25/02;B01J19/08;C23C16/48;C23C16/511;C30B29/06;H01L21/205;(IPC1-7):C30B25/02
主分类号
C30B25/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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