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发明名称
SPUTTERING TARGET AND ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号
JPH08158047(A)
申请公布日期
1996.06.18
申请号
JP19940295240
申请日期
1994.11.29
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
FUJIMOTO SHIGERU
分类号
G02F1/1345;C23C14/14;C23C14/34;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/34;G02F1/134
主分类号
G02F1/1345
代理机构
代理人
主权项
地址
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