| 发明名称 |
METHOD FOR WASHING PRECISE PART |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08155408(A) |
申请公布日期 |
1996.06.18 |
| 申请号 |
JP19940329257 |
申请日期 |
1994.12.05 |
| 申请人 |
SHIMADA PHYS & CHEM IND CO LTD |
发明人 |
SHIMADA KIYOSHI |
| 分类号 |
B08B3/10;C11D7/02;C11D7/04;H01L21/304;(IPC1-7):B08B3/10 |
主分类号 |
B08B3/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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