发明名称 Vorrichtung mit trockener Thermoschnittstelle zur Prüfung von Halbleiterchips
摘要
申请公布号 DE69026925(D1) 申请公布日期 1996.06.13
申请号 DE19906026925 申请日期 1990.12.12
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 ABRAMI, ANTHONY JOHN, POUGHKEEPSIE, NEW YORK 12603, US;BULLARD, STUART HOWARD, PLEASANT VALLEY, NEW YORK 12569, US;DEL PUERTO, SANTIAGO ERNESTO, WAPPINGERS FALLS, NEW YORK 12590, US;GASCHKE, PAUL MATTHEW, PLEASANTVILLE, NEW YORK 10570, US;LAFORCE, MARK RAYMOND, PLEASANT VALLEY, NEW YORK 12569, US;ROGGEMANN, PAUL JOSEPH, HOPEWELL JUNCTION, NEW YORK 12533, US;LONGENBACH, KORT FOSTER, NEW YORK, NEW YORK 10128, US
分类号 G01R31/28;G05D23/19;G05D23/20;G05D23/24;H01L21/66;(IPC1-7):G05D23/19;H01L21/00 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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