发明名称 Verfahren zur Abscheidung von einem Film mittels eines Alkylaluminiumhydrids
摘要
申请公布号 DE69024607(T2) 申请公布日期 1996.06.13
申请号 DE1990624607T 申请日期 1990.09.07
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 MIKOSHIBA, NOBUO, SENDAI-SHI, MIYAGI-KEN, JP;TSUBOUCHI, KAZUO, SENDAI-SHI, MIYAGI-KEN, JP;MASU, KAZUYA, SENDAI-SHI, MIYAGI-KEN, JP
分类号 C23C16/20;H01L21/285;(IPC1-7):C23C16/20 主分类号 C23C16/20
代理机构 代理人
主权项
地址