发明名称 Two-dimensional epitaxial growth of III-V compound semiconductors
摘要
申请公布号 GB2295830(A) 申请公布日期 1996.06.12
申请号 GB19940024787 申请日期 1994.12.08
申请人 * ELECTRONICS AND TELECOMMUNICATIONS RESEARCH INSTITUTE 发明人 BUN * LEE;MEE-YOUNG * YOON;JONG-HYEOB * BAEK
分类号 H01L21/20;(IPC1-7):C23C16/30;H01L21/205 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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