发明名称 Method of manufacturing semiconductor device
摘要
申请公布号 EP0370775(B1) 申请公布日期 1996.06.12
申请号 EP19890312090 申请日期 1989.11.21
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 NAKATA, REMPEI;ITOH, HITOSHI;ENDO, TAKASHI;WATANABE, TOHRU
分类号 H01L21/285;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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