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发明名称 PATTERN SHAPE CORRECTING METHOD
摘要
申请公布号 JPH08153136(A) 申请公布日期 1996.06.11
申请号 JP19940319270 申请日期 1994.11.29
申请人 HITACHI LTD 发明人 UEDA TERUO
分类号 H01L21/82;G06F17/50;(IPC1-7):G06F17/50 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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