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发明名称 ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08153711(A) 申请公布日期 1996.06.11
申请号 JP19940315473 申请日期 1994.11.26
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD 发明人 YAMAZAKI SHUNPEI;SUZAWA HIDEOMI
分类号 H01L21/302;C23F1/08;C23F1/12;H01L21/00;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/336;H01L27/00;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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