发明名称 PELLET BONDING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08153736(A) 申请公布日期 1996.06.11
申请号 JP19940317776 申请日期 1994.11.29
申请人 TOSHIBA SEIKI KK 发明人 TAKEDA YASUSHI
分类号 H01L21/52;(IPC1-7):H01L21/52 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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