发明名称 CONNECTING HOLE, CONNECTING HOLE-FORMING METHOD AND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08153790(A) 申请公布日期 1996.06.11
申请号 JP19940296272 申请日期 1994.11.30
申请人 SONY CORP 发明人 TAKIZAWA MASAAKI
分类号 H01L21/28;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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