发明名称 PROBE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08153760(A) 申请公布日期 1996.06.11
申请号 JP19940314365 申请日期 1994.11.25
申请人 SONY CORP 发明人 MATSUSHITA KATSUTOSHI;NIMASE GIICHI;YAMANOUCHI MANABU
分类号 G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
主权项
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