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发明名称
Tool exchange system for hybrid die bonder
摘要
申请公布号
EP0447087(B1)
申请公布日期
1996.06.12
申请号
EP19910301769
申请日期
1991.03.04
申请人
F & K DELVOTEC BONDTECHNIK GMBH
发明人
SCHWEITZER, KARL;ZEINDL, GERHARD
分类号
B23Q3/155;H01L21/00;H01L21/52;H01L21/677;(IPC1-7):H05K13/00
主分类号
B23Q3/155
代理机构
代理人
主权项
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