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发明名称 MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08153833(A) 申请公布日期 1996.06.11
申请号 JP19940295343 申请日期 1994.11.29
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 INABA YUICHI
分类号 H01L23/29;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/56;H01L23/31;(IPC1-7):H01L23/29;H01L21/306 主分类号 H01L23/29
代理机构 代理人
主权项
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