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发明名称 CAST MEMBER FOR THERMOCOMPRESSION BONDING HEAD, THERMOCOMPRESSION BONDING HEAD MEMBER, AND MANUFACTURE OF THE MEMBER
摘要
申请公布号 JPH08153757(A) 申请公布日期 1996.06.11
申请号 JP19940321510 申请日期 1994.11.29
申请人 DAIDO STEEL CO LTD 发明人 SUZUKI SHINKICHI;KANAMORI HISASHI
分类号 H01L21/603;H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/603 主分类号 H01L21/603
代理机构 代理人
主权项
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